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Un système d'épitaxie par jet moléculaire pour la recherche

Sophie Eustache

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Un système d’épitaxie par jet moléculaire dédié à la recherche sur substrat, a été lancé par Riber. L’épitaxie par jet moléculaire consiste en l'évaporation de matériaux complexes sous forme de jets de molécules dans un environnement ultra-vide.   Compact 21 DZ, un système compact qui intègre douze piquages géométriquement équivalents, a été conçu pour la recherche fondamentale sur les nouveaux semi-conducteurs composés dans l'industrie microélectronique ou optoélectronique.

"Il permet ainsi de développer des recherches à coûts maitrisés sur un large spectre de matériaux : des structures à base de matériaux III-V aux matériaux II-VI, en passant par le GaN, le Graphène ou les Oxydes. Par[…]

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