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Un projet européen dédié à la lithographie

Un projet européen dédié à la lithographie

© E. Perin / CNRS Photothèque

Un consortium, nommé Placyd, financé par l’Union européenne, et dirigé par Arkema, a pour vocation de développer des installations industrielles affectées à la production de copolymères séquencés. Ces copolymères doivent satisfaire aux normes requises pour leurs utilisations industrielles en tant que résines nanolithographiques. 

Le projet Placyd, financé par la plate-forme européenne technologique pour la nanoélectronique, Eniac JU, s’inscrit dans le cadre du septième programme-cadre européen (FP7) et sera dirigé par Arkema durant trois ans. Il a pour but de développer des matériaux pour l'industrie des semi-conducteurs et de les porter à maturité industrielle, ainsi que les procédés et les méthodes d’intégration associés. Il contribuera à la mise en place de règles spécifiques de conception, ainsi qu’à la mise au point de logiciels de conception et d’équipements industriels de production. Les exigences de métrologie et d’inspection dans une gamme inférieure à 10 nm seront définies et des outils de nouvelle génération seront développés en accord avec ces nouveaux besoins. Enfin, des démonstrateurs seront réalisés au CEA-Leti afin de prouver l’efficacité de la solution dans son ensemble.

L’objectif est de fournir des matériaux d’une précision de haute définition, d’une grande pureté et largement reproductibles à l’échelle industrielle pour ainsi approvisionner l’industrie des semi-conducteurs. Parallèlement, de nouveaux matériaux seront développés et optimisés pour les nouvelles générations de puces électroniques.

 

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