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Un microscope électronique et optique pour le contrôle des matériaux

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La start-up suisse Attolight et le CEA Leti (Laboratoire d'électronique de technologie de l'information) ont conclu un partenariat de co-développement de microscopes à cathodoluminescence à destination de l'industrie des semi-conducteurs. Cette technologie d'Attolight, qui combine un microscope électronique avec un microscope optique, permet de révéler des traces infimes d'impuretés et des défauts cristallins invisibles avec d'autres techniques d'imagerie. Elle permet ainsi de caractériser de manière non-destructive et de comprendre en profondeur les structures et les propriétés de la matière. La méthode ouvre de nouvelles perspectives aux équipes de recherche et développement sur les matériaux.

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