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Un microrefroidisseur pour puces

Michel Le Toullec

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- Des chercheurs grenoblois et lyonnais ont conçu un diffuseur thermique associé à des microcapteurs de pression et de température.

Des composants toujours plus petits, des flux toujours plus denses... : l'augmentation des performances des composants à semi-conducteurs s'accompagne d'une élévation de la température, qui est une des limites à la miniaturisation. Afin de régler ce problème, des chercheurs de l'Institut national polytechnique de Grenoble, de l'Insa de Lyon et du Léti (CEA) ont conçu un microrefroidisseur. Ces équipes ont développé un microsystème de type diffuseur thermique diphasique rainuré. L'intérêt est de pouvoir l'intégrer au plus près du composant électronique afin d'obtenir une bonne répartition spatiale du flux de chaleur et d'éliminer les zones les plus chaudes.

Pour les biopuces aussi

Les chercheurs ont conçu ce microrefroidisseur en silicium pour éviter les problèmes liés à la soudure. Le dispositif est constitué d'un réseau de canaux gravés dans une première plaque de silicium. Une deuxième plaque de silicium y est collée, formant un dispositif compact. Les scientifiques y ont associé des microcapteurs de type Mems afin d'accéder aux valeurs exactes de pression et de température au sein même du microrefroidisseur. Le dispositif est ainsi optimisé en termes de structure ou de nature des liquides caloporteurs (eau, acétone, éthylène...).

Outre son intérêt dans le domaine des composants électroniques, les chercheurs pensent que ce principe conviendrait aussi aux biopuces. Le diffuseur thermique associé aux microcapteurs préserverait les échantillons biologiques d'une surchauffe et permettrait de réaliser des tests de chauffage.

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