Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de micromiroirs.
Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques épaisses , inhabituelles dans le domaine de la microélectronique
TECHNIQUES DE FABRICATION DES MICROSYSTEMES
de Michel de la Bachelerie
Editions Hermès Science
-Volume 1 : structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces
326 pages
95 euros
- Volume 2 : : systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs
330 pages
95 euros
Pour en savoir plus
- Présentation et commande
Vol. 1 www.lavoisier.fr/fr/livres/index.asp?texte=2746208170&select=isbn
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