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Quand la micromécanique rencontre la microélectronique

François-Xavier Lenoir
D'UN CÔTÉ L'ÉLECTRONIQUE s'appuie sur une mécanique de haute précision, de l'autre elle se met au service du développement des Mems (microsystèmes électromécaniques).

«Quand la micromécanique rencontre la microélectronique », tel est le thème choisi cette année pour les conférences et les présentations associées au quinzième salon international des microtechniques. Ce thème, qui sert de fil rouge pour l'ensemble de la manifestation, n'est pas seulement lié à un unique secteur utilisateur, comme ce fut le cas naguère avec les télécoms, l'aéronautique, l'automobile ou le médical. Il s'agit cette fois de la rencontre de deux domaines, ceux de la microélectronique et de la micromécanique afin de montrer que ces technologies sont désormais indissociables. C'est l'occasion de mettre en évidence leur complémentarité et leur interpénétration dans le domaine microscopique, et bien au-delà.

D'un côté, la microélectronique fait appel à des machines, à des équipements mécaniques et à des moyens de contrôle de haute précision et très sophistiqués, nécessairement à l'échelle de des réalisations visées. À ce sujet, Michel Froelicher, directeur du Centre de transfert des microtechnologies et vice-président de Micronora rappelle que les progrès de la microélectronique dépendent des progrès de la micromécanique. D'un autre côté, la mécanique, qui oeuvre dans la durée, doit se ressourcer, c'est-à-dire apporter de nouveaux services et des suppléments de performances. Elle se nourrit donc de plus en plus largement des apports d'autres technologies, en tout premier lieu de la microélectronique.

À travers la mécatronique, de grands progrès techniques se profilent, tels que les aides à la conduite des voitures, les étonnantes fonctionnalités des appareils ménagers, etc. Les produits miniaturisés réalisant ces fonctions électromécaniques sont les fameux Mems (micro-electro-mechanics systems), dont les moyens de conception, de production et de contrôle se rapprochent de plus en plus de ceux des composants électroniques. La mise en commun des expertises ne peut donc être que profitable.

Des technologies de plus en plus imbriquées

Au cours de ces journées de salon, ST Microelectronics présentera des wafers de grande taille (300 mm) sur lesquels sont produits plusieurs milliers de circuits avec la technologie du 0,12 µm ainsi que des microcaméras destinées aux téléphones portables, associant en un seul composant, la puce, l'optique et le packaging. « Un bel exemple de Mems », selon Michel Froelicher. Le fournisseur de groupes de vide Alcatel Vacuum Technology sera aussi présent avec ses activités de machines de gravure plasma-RIE (Reactive ion etcher).

Dans le domaine de la lithographie et de l'alignement des masques, Suss MicroTec montrera notamment l'aligneur de masque MJB4, une petite machine de laboratoire avec une résolution meilleure que le micromètre, et la PA 300, une station (prober) de haute précision pour faire le test de circuits sur wafers. Des mécanismes de placement des wafers seront présentés par Recif et des platines mécaniques garantissant des déplacements submicroniques chez Microcontrol (Newport) et Polytec-PI.

Seront aussi présents : Minatec qui regroupe les activités microélectroniques de Grenoble et Femto-ST, nouvelle unité de recherche créée en janvier 2004, réunissant cinq laboratoires francs-comtois dans les domaines électronique, mécanique, thermique et optique. Ce centre manquait à la capitale de la Franche-Comté pour s'affirmer comme pôle susceptible d'attirer de jeunes entreprises de haute technologie. À terme, ce regroupement bénéficiera d'une plate-forme technologique de haut niveau comprenant notamment des moyens communs de caractérisation et une salle blanche de 350 m2. Il offrira ses services dans les domaines de l'optique guidée, la nanophotonique, les télécommunications et bien sûr la micromécanique, allant de l'activité traditionnelle de haute précision jusqu'à la micromécanique silicium.

L'ESSENTIEL

- Grands thèmes Conception et développement de microsystèmes micromécaniques et/ou microélectroniques. Automatismes et moyens de production associés aux microtechniques. Recherche et transfert de technologies microtechniques. Remise des Microns d'or dans 6 disciplines. - Pratique Du 28 septembre au 1er octobre 2004 au Parc des expositions et des congrès de Besançon Organisateur : Micronora Tél. : 03 81 52 17 35 Internet : www.micronora.com - Chiffres clés 855 exposants dont 34 % d'étrangers 17 000 m2 d'exposition 15 000 visiteurs attendus

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