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Microélectronique : bas les masques !

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MEDEA+, le programme européen de R&D en microélectronique, a mis sur pied un conseil consultatif européen sur la lithographie sans masque.

Depuis des années, la « loi de Moore », qui postule un doublement de la densité des circuits intégrés tous les deux ans, ne cesse d’être validée.  La plupart des spécialistes, dont Gordon Moore lui-même, s'attendent à ce que la loi s'applique encore au moins vingt ans.

La théorie s'appuie sur la lithographie, qui a permis à ce jour une réduction de 30% de la taille des circuits intégrés tous les deux ans. Le masque constitue un élément vital de cette technologie, mais la croissance de son coût observée ces dernières années a limité la viabilité économique des nouvelles générations de technologies.

Plusieurs consortiums européens mettent actuellement au point des outils permettant de définir des modèles sans masque. Diverses approches font appel à l'optique des particules ou aux photons. Un certain nombre de concepts de dispositifs de modulation des faisceaux sont aussi actuellement à l'essai.

EAB-ML2, le conseil consultatif, fera office de plate-forme d'échange d'idées entre les fournisseurs et les utilisateurs, et étudiera les applications potentielles pour la mise en oeuvre de la lithographie sans masque.

'Le savoir-faire et les compétences requis pour créer des outils de lithographie sans masque existent en Europe, a déclaré Mart Graef, président du EAB-ML2. 'La participation des grands fabricants européens de semi-conducteurs et des grandes entreprises européennes d'équipements à semi-conducteurs fera en sorte que les solutions fournies soient adaptées aux exigences de l'industrie des circuits intégrés. C'est la question la plus importante que nous aborderons au sein du conseil.'

Peter Tischer, vice-président de MEDEA+, a souligné l'importance de la recherche en matière de lithographie: 'Nous pensons que la lithographie sans masque constitue une solution prometteuse pour les circuits intégrés de faible volume, peut-être aussi pour le prototypage de nouveaux modèles. [Le conseil consultatif] offre la possibilité d'identifier des défis techniques communs et de les aborder dans le cadre d'un travail de collaboration mené au titre du programme MEDEA.'

Franck Barnu
(source Cordis)

Pour en savoir plus
- http://www.medeaplus.org

 

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