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Mesurer les propriétés mécaniques des MEMS

Sophie Eustache

Une méthode pour mesurer avec précision les propriétés mécaniques des Mems (systèmes micro-électromagnétiques) a été récemment présentée par une équipe de recherche du Laboratoire national de métrologie et d’essais (LNE). Les chercheurs ont développé un dispositif pour accéder aux informations précises concernant les caractéristiques mécaniques et les propriétés de n'importe quel dispositif Mems par des mesures électriques.

La technique du LNE fonctionne en appliquant un courant alternatif à fréquence variable à travers le dispositif et en analysant le contenu harmonique de la tension de sortie des composants. Après un traitement numérique, la technique permet de déterminer[…]

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