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M&Nems : un capteur 6 axes sur 4 mm²

Philippe Passebon
M&Nems : un capteur 6 axes sur 4 mm²

Puce M&nems du CEA

Une puce détectant tout mouvement sur 6 axes (3 de translation et 3 de rotation) sur 4 mm2 a été mise au point par les chercheurs du CEA-Leti, grâce à la technologie M&Nems, qui permet de miniaturiser encore les Mems (Microelectromechanical systems), d’abaisser leurs coûts et leur consommation électrique, et d’intégrer plusieurs capteurs différents sur une seule et même puce. 

Les capteurs Mems sont constitués de deux éléments en forme de peignes dont l’un, mobile, bouge par rapport à l’autre, fixe, en fonction des sollicitations extérieures (pression, champ magnétique, etc.). L’intervalle entre les dents change et modifie la capacité électrique de l’ensemble, à partir de laquelle on extrait l'information voulue. Cette technologie de 20 ans dite «capacitive» a permis de créer les accéléromètres qui se sont totalement imposés sur le marché  (des manettes de la Wii jusqu’aux fusées Ariane en passant par les systèmes de déclenchement d’airbag), puis des capteurs de pression, des géophones, des gyromètres, etc.

Dans la technologie M&Nems, les chercheurs combinent aux Mems des Nems[…]

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