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LES OUTILS DE DEMAIN

P.W.

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Ces microsystèmes électromécaniques sont développés pour créer des outils pour les nanotechnologies ou même des produits.

Les vraies micromachines ou Mems (Micro-electro- mecanical systems) sont celles qui incorporent au moins un élément mobile ou vibrant : actionneur, poutre, miroir, etc. C'est justement sur ces minidispositifs que travaille l'Institut d'électronique, de microélectronique et de nanotechnologie (IEMN) de Villeneuve-d'Ascq (CNRS). Chacun des Mems fabriqués par ce laboratoire - et dont la taille moyenne est de quelques dizaines de microns, voire plus - est conçu puis validé comme un prototype macroscopique classique.

Ces micro-objets - ici visibles au microscope à balayage - sont conçus pour interagir directement avec une onde électromagnétique ou pour agir sur un autre objet de faible masse (comme la micropince présentée ci-contre). Les actionneurs inclus dans les Mems sont mis en mouvement sous l'action d'un champ électrique, de la chaleur ou d'un courant.

L'objectif de ces travaux est d'abord de réaliser des applications pour les télécommunications : mini-interrupteurs, filtres, etc. Mais on envisage aussi de mettre au point des micromachines destinées à la biologie ou des instruments et des outils de précision utilisables en nanotechnologie !

LES ÉTAPES DE FABRICATION D'UN FILTRE.

- Dans un premier temps, on fabrique des piédestaux surmontés chacun d'un disque d'oxyde.

- Au cours du procédé, les disques de silicium se détachent et sont éliminés, en même temps que les pointes s'effilent.

- Ces pointes constituent des résonateurs servant à fabriquer des filtres pour téléphones mobiles. Des filtres 100 000 fois plus petits que ceux qui existent aujourd'hui.

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