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Le spectromètre se fait tout petit

Y. B.

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Les physiciens de l'IMT de Neuchâtel mettent au point un microspectromètre basé sur la technologie des Mems.

Réduire la taille et le coût de production des spectromètres portables. Tels étaient les objectifs de l'Institut de microtechnique de l'Université de Neuchâtel (Suisse). Les physiciens ont misé sur la technologie Mems (Micro-Electro-Mechanical Systems) pour développer un instrument facile à manier et d'un prix abordable. Ils se sont intéressés à la spectrométrie de Fourier, technique performante pour la mesure de spectres de sources à rayonnement faible.

Les spectromètres de Fourier (FTS) du commerce doivent être équipés d'un mécanisme complexe de commande du miroir à balayage, ce qui les alourdit. Pour palier cet inconvénient, les chercheurs se sont penchés sur le micro-usinage du silicium afin que leur FTS se passe d'éléments micro-optiques additionnels. L'École d'ingénieurs de Bienne a travaillé à l'intégration du Mems et des micro-éléments optiques dans la tête de mesure.

Le FTS, basé sur un interféromètre de Michelson, comprend deux rangées de miroirs, l'une fixe, l'autre mobile. L'innovation se situe au niveau de la série de miroirs mobiles incorporés dans l'interféromètre, d'une hauteur de 75 µm. Ils sont commandés par un actuateur électrostatique réalisé par gravure profonde sur une lame SOI (Silicium sur isolant). La composante Mems occupe 7 x 4 mm. Les essais ont montré que le FTS analyse les structures spectrales d'une lampe Xénon à basse pression avec une résolution de 0,4 nm pour une longueur d'onde de 400 nm et à une résolution de 5 nm pour une longueur d'onde de 1 540 nm.

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