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Le CEA-Leti produit des MEMS sur des tranches de 300 mm

Sophie Eustache

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Des accéléromètres de type Mems (Micro-electro-mechanical-system) ont été produits sur des tranches de silicium de 300 mm de diamètre par une équipe du Leti, laboratoire de recherche spécialisé dans les micro et nanotechnologies et leur intégration dans les systèmes, du CEA Tech. Il s’agit là d’une première mondiale, qui devrait permettre de réduire les coûts de fabrication de ces microsystèmes, composants clés des objets connectés.

« Au Leti, nous développons des Mems sur des tranches de 200 mm et notre objectif a[…]

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