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La mesure de contrainte dix fois plus sensible

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La mesure de contrainte dix fois plus sensible

Sous contrainte, le courant ne passe que dans le silicium (en pointillés) et augmente la résistance de l'ensemble.

© D.R.

Le capteur du laboratoire de PMC est non seulement plus précis, mais moins cher et surtout moins gourmand en énergie.

Pour l'instant, il ne s'agit pas encore d'un capteur, mais d'un échantillon. « Nous n'en sommes pas encore à la production » insiste, prudent, Alistair Rowe, chercheur au laboratoire de physique de la matière condensée (PMC - École polytechnique de Palaiseau, Essonne). Reste que le laboratoire est déjà en négociation avec d'éventuels partenaires industriels pour appliquer son nouveau capteur de contrainte. La technologie se base sur les propriétés des métaux et des semi-conducteurs, dont la conductivité varie en fonction de la contrainte à laquelle ils sont soumis. Aujourd'hui, pour la mesure des contraintes, on utilise soit des capteurs métalliques, robustes mais peu précis, soit des capteurs en silicium, cent fois plus précis mais dix fois plus chers. « Nous avons combiné les deux et nous avons observé qu'en superposant une couche de silicium et une couche de métal, nous obtenions une sensibilité aux déformations dix fois plus importante qu'avec du silicium pur ! », explique Alistair Rowe. De l'idée à l'industrialisation, il ne devrait y avoir qu'un pas car le capteur pourrait être très vite intégré à des microsystèmes. Il pourrait en effet être fabriqué par lithographie, procédé habituel en microélectronique. D'une centaine de micromètres, le capteur pourrait être placé dans les accéléromètres des systèmes embarqués, comme les airbags par exemple. Enfin, le dispositif ne se contente pas de fournir des mesures plus précises. Pour délivrer la même mesure qu'un capteur en silicium, il est cent fois moins gourmand. « Il semble que ce soit le plus intéressant pour l'industrie », note Alistair Rowe.

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