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La fabrication des Mems étape par étape

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Les microsystèmes électromécaniques (Mems) sont fabriqués avec les mêmes procédés que les circuits intégrés électroniques. Ils comprennent une partie mobile, sensible à un paramètre physique, comme le mouvement. Intégré au silicium d'une puce, ces éléments interagissent avec la partie électrique du circuit, lui apportant de nouvelles informations. De la matière première à l'intégration des Mems, cette vidéo retrace les étapes de la fabrication de ces composants dans le laboratoire Lincoln du MIT.

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