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L’intégration des MEMS

Antoine Cappelle

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L’intégration des MEMS

Au coeur de la fabrication des Mems.

© DR

Les micro-systèmes électro-mécaniques (MEMS) sont constitués d’une partie mobile, sensible à un paramètre physique, comme le mouvement, qui interagit avec la partie électrique du circuit, lui apportant de nouvelles informations.

De la matière première à l’intégration des MEMS sur le silicium des circuits, cette vidéo retrace les étapes de la fabrication des puces dans le laboratoire Lincoln du MIT.

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