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FABRICATION Des microstructures de grande précision

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- L'Institut für Mikrostrukturtechnik Forschungszentrum (IMF) de Karlsruhe lance la construction d'une ligne de fabrication automatisée qui utilise la technologie de lithographie X, galvanisation et moulage pour la fabrication en grande série de microstructures métalliques d'une précision submicrométrique. Cette technologie, développée dans les années 1990 en Allemagne (IMF), en France (Lure) et en Italie (Elettra), permet la réalisation des microstructures de grande épaisseur (jusqu'à 2 mm) et avec une rugosité inférieure à 50 nm. Elle était réservée jusqu'ici à la fabrication en petite série.

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