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Conception assistée par ordinateur de microstructures

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Le logiciel Tensosim du laboratoire de l’Ecole nationale supérieure de mécanique et des microtechniques de Besançon.

Le micro-usinage chimique des monocristaux est utilisé en microtechniques pour la fabrication de dispositifs constituant les éléments sensibles de capteurs ou de résonateurs. L’attaque chimique étant gouvernée par l’orientation du cristal (on parle alors de micro-usinage anisotrope), ce procédé donne accès à des formes et des dimensions reproductibles.

C’est dans ce cadre que les chercheurs du Laboratoire de chronométrie électronique et piézoélectricité de l’ENSMM  ont développé un logiciel de simulation dénommé Tensosim. Cet outil utilise comme base de données les jeux de constantes de dissolution.

Parce qu’il travaille avec des masques de forme quelconque déposés sur des lames de toutes orientations, il offre potentiellement des solutions pour l’exploration de divers problèmes de micro-usinage.

Ce logiciel permet d’optimiser la forme et les dimensions du masque de compensation pour des lames de silicium de diverses orientations. De plus, il aide à reconstituer et expliquer les défauts de formes et les écarts de dimensions de structure qui résultent d’une légère erreur d’alignement du masque.

A terme, ce logiciel doit permettre d’explorer toutes les possibilités de microfabrication de structures 3D dans divers plans de matériaux comme l’arséniure de gallium.

Michel Le Toullec

Site du laboratoire
- www.ens2m.fr

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